半導(dǎo)體器件和部件在研制和生產(chǎn)過程中都要進(jìn)行交變高低溫試驗(yàn)，交變高低溫箱就是完成這項(xiàng)試驗(yàn)的關(guān)鍵設(shè)備，交變高低溫箱內(nèi)的實(shí)際溫度與設(shè)定溫度和顯示溫度是否一致、箱體溫度是否準(zhǔn)確，就直接關(guān)系到產(chǎn)品所做的試驗(yàn)是否有效、是否可靠的問題，所以交變高低溫箱檢測(cè)的準(zhǔn)確度對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有著重要影響。經(jīng)過多年來我對(duì)單位質(zhì)量部門的交變高低溫箱的檢測(cè)實(shí)踐，證明我們的檢測(cè)溫度系統(tǒng)是準(zhǔn)確可靠的，下面我們對(duì)其測(cè)量不確定度作出分析。

 

　　1、測(cè)量不確定度的來源

 

　　對(duì)交變高低溫箱溫度的檢測(cè)是由鉑電阻隨溫度的變化，而變化的阻值通過高溫導(dǎo)線連接到溫濕度巡檢儀，溫度巡檢儀測(cè)出鉑電阻阻值，軟件查表計(jì)算出各個(gè)點(diǎn)相應(yīng)的溫度值，再顯示打印出巡檢結(jié)果。影響檢測(cè)系統(tǒng)測(cè)量不確定度有以下幾方面：

 

　　(1)鉑電阻數(shù)據(jù)誤差造成的規(guī)范不確定度U1。

 

　　(2)溫度濕度巡檢儀數(shù)據(jù)誤差造成的規(guī)范不確定度U2。

 

　　(3)試驗(yàn)箱內(nèi)溫度不平穩(wěn)造成的精確測(cè)量規(guī)范不確定度u3。

 

　　(4)較長的高溫導(dǎo)線造成電阻器造成的精確測(cè)量規(guī)范不確定度U4。

 

　　(5)自然環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)(溫度濕度、標(biāo)準(zhǔn)氣壓、開關(guān)電源、干擾信號(hào)等)造成的規(guī)范不確定度U5。

 

　　因聯(lián)接鉑電阻的輸電線選用4線制，因此可忽視導(dǎo)線產(chǎn)生的偏差U4，又因試驗(yàn)箱都放到控溫屋子，常用開關(guān)電源是歷經(jīng)溝通交流穩(wěn)壓管的，因此可忽視自然環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)造成的偏差U5。

 

　　由以上分析可知，我們用來檢測(cè)交變高低溫箱的測(cè)溫系統(tǒng)能滿足國標(biāo)規(guī)定的測(cè)溫系統(tǒng)。